SGL GROUP The Carbon Company
Broad Base. Best Solutions.
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製品情報
 
半導体・ソーラー用
半導体・ソーラー用   弊社の等方性黒鉛(CIP材)は、高密度かつ高強度で、貴社のご仕様に合わせた材料を供給する事が出来ます。
さらに、ご要望に応じて高純度処理も可能で、半導体・太陽電池製造用の発熱体として、またエネルギー関連部材、電子部品用治具、耐熱用部材など様々な用途に使用され、数多くの産業に必要不可欠な材料となっています。
SGLカーボングループ製半導体・ソーラー用グレードの代表的な特性値
特性 R6300 R6500 R6510 R6650 単位
嵩密度 1.73 1.77 1.83 1.84 g/cm³
気孔率 15 13 10 10 Vol.%
粒径 20 10 10 7 μm
気孔径 2.0 1.5 1.5 0.8 μm
ガス透過率 10 10 4 3 cm²/s
ロックウェル 80 70 95 95  
曲げ強度 40 50 60 65 MPa
ヤング率 10.0 10.5 11.5 12.5 GPa
固有抵抗値 17 14 13 14 μΩm
熱伝導率 65 80 100 90 Wm-1K-1
熱膨張率 3.8 3.9 4.0 3.9 x 10-6 K-1
灰分 0.02 0.02 0.02 0.02 max.%
使用例・使用実績
半導体・ソーラー用
・るつぼ、ヒーター等ホットゾーン部
・ウエハープロセッシング部品
 
このほかにも取り揃えておりますので、詳細についてはお問い合わせ下さい。
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